Fotolitográfiai felbontóképesség mérése elektronikus úton

A szakdolgozatom 1986-ból

 

2021-01-08

Érdekes dolog ez, már 35 éve, hogy 1986-ban befejeztem a Kandót. Alkatrészes voltam, Félvezető konstukció és technológia szakon végeztem. Egy szakdolgozat általában arról szólt, hogy az ember elment egy céghez, ott megismerte min dolgoznak, és azt igényesen leírta, dokumentálta. Nekem sikerült egy olyan témába beleválogatnom, amire a Mikroelektronikai Vállalatnál megoldást kerestek. Még pontosabban az egész világon nem volt ilyen technológia, amit kitaláltam. Négyest kaptam rá, azt kifogásolták, hogy miért nem építettem meg a mérőáramkört, és miért nem mutattam be a mérő szeletet. (Csak zárójelben kívánkozik ki belőlem, hogy félvezető technikában a waffer nem ostyát jelen, hanem szeletet, csókoltatom a sok tökkelütött újságírót). Anno egy szelet konstrukciójának költsége olyan fél millió forint volt. Tanulás mellett volt fél évem a szakdolgozat megírására. Később kezdő mérnökként a MEV ICTTE gyárában kb. 5000 forint volt a havi fizetésem. A cég költségére egy kisérletet elindítani, egy hallgató kedvéért... szóval esélytelen volt amit hiányoltak, de megfelelt a négyes. Mostanában rendezgettem a dolgaimat, előkerült a szakdolgozatom, beszkenneltem. Az évek során volt egy-két ember, akit megakasztottam a témájával: Fotolitográfiai felbontóképesség mérése elektronikus úton. Dúrván hangzik ma is, nem? Kevés olyan ember volt, aki nem csak a szemét tudta ettől forgatni :). 35 éve Magyarországon még nem volt internet. Nem volt otthon számítógépem. Magyarországon akkor 3um (mikrométer) csíkszélességet tudott a MEV, azután azt sem (leégett a gyártóüzem). A kézírásos munkámat, ami tele volt idegen szakszavakkal, Édesanyám egy nap alatt gépelte le! Mindig csodáltam érte. Számomra utóbb derült ki, hogy a szakdolgozatot két bekötött példányban kell leadni, így csak a harmadik piszkozati példányt tudtam megőrizni. Akit érdekel innen most letöltheti.